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MEMS：微机电系统技术的应用与前景

微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程结合的前沿科技，它通过微型化设计实现传感器、执行器和电路的集成。MEMS技术广泛应用于消
2025年04月13日 22:30:18

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